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微观形貌分析是通过光学显微镜、扫描电镜对样品的表面、断口及其它关注截面进行高倍观察。比如表面形貌、断口形貌、金相组织、微观层状结构等需要进行高倍观察的检测项目。
以扫描电镜为观察基础,借助电子探针(EPMA)、能谱(EDS)等辅助设备对样品的微观区域进行成分分析,主要用于腐蚀产物的类型及分布、基体中的主元素以及分布情况、涂镀层的成分与分布对应等检测。